当今，半导体芯片厂对生产环境空气洁净度最挑剔，对空气过滤器的要求也最苛刻。粘在芯片上的粉尘可能造成断路、短路而直接影响成品率。

衡量芯片集成度的指标之一是“线宽”，即集成电路上导线的宽度。在线宽以微米计算的年代，制造环境对粉尘粒径的限制是小于线宽的1/10，随着线宽不断变小，1/10之说又变成了1/4、1/2。2002年，普通微机中P4处理器的线宽缩小到了0.13μm，此时任何粉尘都可能损害电路，粒径与线宽的传统比较过时了。

芯片厂传统的通风形式是“大循环”，车间的整个天花板上布满无隔板高效过滤器，整个地面为回风栅板。现在芯片厂有些车间使用自带风机的高效过滤装置（FFU，FanFilter Units）。大循环和FFU两种形式都能达到足够的洁净度，只是在运行管理和能耗上有所差异。

空气中的海盐离子是所有电子工业的大敌，但海盐粉尘的颗粒比较大，普通空气过滤器就能将其清除。有人说电子工业的理想地点应该远离海岸，可国内芯片厂就建在了经济发达的沿海地区，在过滤器上多花点钱就是了。

芯片厂特别在意过滤器上可能的微量挥发元素。近几年出现了聚四氟乙烯PTFE纤维高效过滤材料，这种材料没有挥发物，但它带静电，过滤后的空气要进行电中和以消除空气中的离子，少了个隐患，多了个麻烦。目前PTEE高效滤材的价格偏高，绝大部分高效过滤器仍使用传统的玻纤滤纸。高效过滤器上可能的挥发物主要来源于制造过程中使用的粘结剂、清洗剂、试验粉尘、辅助材料、为芯片厂供货的过滤器厂商要在避免微量挥发物上下些功夫。

但当芯片的线宽小到0.5μm时，人们发现空气中的化学污染物成了影响成品率的主要危害，于是，后建的芯片厂空调系统中普遍配置了化学过滤器。芯片厂说的化学过滤器就是活性炭过滤器，它的原理和制造工艺并不复杂。

芯片厂特别在意过滤器上可能的微量挥发元素近几年出现了聚四氟乙烯PTFE纤维高效过滤材料，这种材料没有挥发物，但它带静电，过滤后的空气要进行电中和以消除离子，少了个隐患，多了个麻烦。

但当芯片的线宽小到0.5um时，人们发现空气中的化学污染物成了影响成品率的主要危害，于是，后建的芯厂空调系统中普遍配置了化学过滤器。

芯片厂说的化学过滤器就是活性炭过滤器，它的原理和制造工艺并不复杂。

许多情况下，设计师和现场人员也说不清污染物的种类和浓度，因此，芯片厂用的化学过滤器应具有两个特点：广谱吸附性能、足够多的吸附材料。